新疆高纯气体分析电子气体的应用及类别

典型半导体工厂的辅助设施提供以下类型的电子气体:

氮气通常在现场用分离的空气生产。它广泛用于许多工艺中，以在工艺完成后提供惰性环境或反应气体。

氧气也可以现场生产或作为低温液体输送。它被用来氧化硅，硅是所有半导体制造中的关键工艺之一。

氩通常作为低温液体输送，用于为金属的溅射沉积提供惰性环境，因为氮的高反应性导致金属氮化物的形成。

氢气可以现场生产，以低温液体或压缩气体的形式输送，这取决于消耗率。它用于为退火金属薄膜提供还原环境。

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