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新疆高纯气体讲述特种气体在LED中有哪些应用
发布时间：2024-05-03
新疆高纯气体讲述特种气体在LED中有哪些应用
1.硅气体:含硅的硅烷，如硅烷、二氯硅烷、乙硅烷等。
2.掺杂气体:含有硼、磷、砷等三、五个原子的气体，如三氯化硼、磷化氢、砷烷等。
3.蚀刻清洗气体:主要含有卤化物和卤化碳化合物，如记录气体、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、
己烷等。
4.反应气体:主要是碳和氮的氧化物，如二氧化碳、氨和一氧化二氮。
5.金属气相沉积气体:含有卤化金属和有机烷烃金属，如六氟化钨和**基镓。
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