新疆高纯气体主要包括哪几类
(一) 砷烷 在分析化学中用于检验砷,作为合成其他有机砷化合物的原料。电子工业中主要用于外延和离子注入工艺中的n型掺杂剂。 (二) 氢化锑 电子工业中可用作制造n型硅半导体时的气相掺杂剂。 (三) 乙** 它是制备其他一系列**的原料,同时也用于有机合成。在电子工业中**是气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂,它也曾作为高能燃料用于火箭和**的燃料。
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