伊宁二氧化碳分析四氟化碳是什么?有什么用
四氟烃,也称为四氟甲烷,被认为是一种无机化合物。用于各种集成电路的等离子体刻蚀工艺,也用作激**体和制冷剂。常温常压下稳定,但需避免接触强氧化剂、易燃或可燃材料。四氟化碳是一种不可燃气体。如果暴露在高温下,会导致容器内部压力增加,可能会导致开裂和爆炸。通常只能在常温下与液氨-金属钠试剂反应。
目前,四氟化碳是微电子工业中使用**多的等离子体刻蚀气体,可广泛用于刻蚀硅、二氧化硅、磷硅玻璃等薄膜材料。它在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、检漏仪、印刷电路生产中的洗涤剂等方面有大量应用。
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